容性耦合论文

脉冲调制射频容性耦合SiH4/C2H4/Ar放电的发射光谱诊断
论文摘要由射频放电产生的低气压容性耦合等离子体已在微电机系统、集成电路制造等微细制造领域中得到了广泛的应用。在射频放电中,对电压进行脉冲调制,使放电参数调节更加灵活,能够提高对...
传输线理论在电磁干扰防护技术中的若干应用
论文摘要由于电子电气设备工作时,总会在它周围产生一定强度的电磁场。这些电磁场通过一定的途径把能量耦合给其他的设备,使其他设备不能正常工作,同时这些设备也会从其它电子设备产生的电...
CF4射频等离子体硅橡胶表面疏水疏油改性研究
论文摘要采用射频容性耦合、感性耦合CF4等离子体对硅橡胶试样进行表面改性。等离子体改性前后硅橡胶试样表面形貌、化学官能团和疏水疏油性分别由原子力显微镜（AFM）、衰减全反射-F...