软光刻论文

基于微加工技术的光开关及光互连结构研究
论文摘要本博士论文对基于非硅基微加工技术的光开关的设计分析与器件制作以及基于软光刻技术的微光学器件进行了研究。本文主体由两大部分构成。第一部分主要是基于非硅基微加工技术的光开关...