润滑系统计算论文

螺杆真空泵转子参数化设计及润滑系统开发
论文摘要近年来在半导体工业和液晶显示器制造工艺中,对清洁真空环境的要求越来越高,而传统的有油真空泵已经达不到这样的要求了。螺杆型干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元...