三甲基铝论文

ECR等离子体辅助原子层沉积Al2O3薄膜的研究及其参数诊断
论文摘要由于超薄氧化铝薄膜在微电子方面的应用越来越广泛,所以对它的制备方法的研究和改良也越来越吸引人们去研究。目前以金属有机源为单体制备超薄氧化铝薄膜的方法主要有原子层沉积（A...
甲基铝氧烷合成技术研究
论文摘要本文对甲基铝氧烷(MAO)的合成工艺进行了研究，通过采用不同的加料方式，包括氧溶剂分散水法、氮气带入水蒸气法、机械乳化分散水法、“倒加料”法与直接加水法等，对直接水工艺...