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三极管场发射阵列的设计与制作
论文摘要以场致发射理论为基础的真空微电子器件,因其具有功耗低、电流密度大、频率高等诸多优点而倍受人们关注。场发射阴极作为真空微电子器件最核心的部分,其性能的好坏直接决定了场发射...