三氯氢硅论文

本文主要研究内容作者张红霞（2019）在《三氯氢硅生产技术的改进措施》一文中研究指出：三氯氢硅是生产有机硅、单晶硅生产的主要原料。随着经济的发展,科学信息的进步,我国对于三氯氢...