散射损耗论文

论文题目:SOI光波导器件及其增透膜的研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:王永进导师:邹世昌,张峰关键词:脊形波导,增透膜,电感耦合反应离子刻蚀,散射损耗...