三维参数论文

表面三维微观形貌测量及其参数评定的研究
论文摘要表面三维微观形貌检测是获取零件表面形态特征的一种重要手段,本文对基于相移干涉法测量表面三维形貌技术展开了较为全面的理论与实验研究工作;相移干涉术(PSI)作为一种光电型...
基于AFM的刻线边缘粗糙度测量技术研究
论文摘要随着集成电路“按比例缩小”趋势的不断发展，刻线临界尺寸不断减小。根据国际半导体路线图确定的目标，DRAM的半节距在2010年将达到45nm。在临界尺寸下降的过程中原先可...