三维微触觉力传感器论文

MEMS压阻式三维微触觉力传感器的研究
论文摘要随着微米/纳米技术的迅速发展,科学研究的对象不断向微小化发展,微小精密机械零件的装配、微机电系统(MEMS)器件的组装、单细胞操作、扫描探针显微镜等领域中无不存在着微小...