三维微观形貌论文

表面三维微观形貌测量及其参数评定的研究
论文摘要表面三维微观形貌检测是获取零件表面形态特征的一种重要手段,本文对基于相移干涉法测量表面三维形貌技术展开了较为全面的理论与实验研究工作;相移干涉术(PSI)作为一种光电型...