三氧化二铝薄膜论文

磁控溅射镀制Al2O3薄膜及其应用
论文摘要Al2O3薄膜因其光学性能优良、机械强度高、透明性与绝缘性好、耐磨损、抗腐蚀、有较高的抗激光损伤阈值及化学性能稳定等特点,近年来倍受国内外关注,已经广泛地应用于光学、机...