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GaAs多层异质外延结构材料和SiC MESFET结构材料的X射线双晶衍射分析
论文摘要X射线双晶衍射法(XRD)能够分析生长材料的结晶完整性、均匀性、层厚、组分、应变、缺陷和界面等重要信息,同时具有非破坏性、精度高、操作简便等优点,逐渐成为对晶体质量测试...