设备自动化程序论文

iEMS（智能机台监控系统）在天津FAB厂的实施与应用
论文摘要设备自动化程序(EAP)是目前8英寸以上晶片厂制程品质管理上不可或缺的程序。当每一批料(Lot)生产前后都会经由EAP做确认动作,并且管理晶片的制程配方及控制机台操作,...