设备自动化论文

半导体制造设备产能管理系统的设计与实现
论文摘要随着半导体芯片制造设备的尺寸大直径化、设备的高精度化、自动化,设备价格日益昂贵化,设备折旧与维修占芯片加工总成本的最大比重,因此设备效率和设备能力能否达到其最大利用率是...