射程理论论文

离子注入技术在α-Al2O3晶体中形成微颗粒的研究
论文摘要对α-Al2O3晶体中色心缺陷的探讨是当前研究热点之一,采用离子注入方法在晶体中掺入杂质元素,通过对注入参数的调节、基材晶向的选择以及热退火工艺的控制,以形成微细颗粒的...