设计规则论文

MEMS工艺优化及其应用
论文摘要MEMS是微机电系统的简称,是多种学科交叉融合的前沿高技术,是未来的主导产业之一,将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响。MEMS标准工艺的研究对...
静态随机存储器位单元与测试结构设计优化
论文摘要在摩尔定律的持续推动下,集成电路制造工艺的触角已经延伸至深亚微米领域,而作为逻辑工艺开发的重要辅助工具,嵌入式静态随机存储器(SRAM)以其极高的工艺缺陷覆盖率、可精确...