深沟槽结构论文

微纳深沟槽结构测量系统研究
论文摘要在微电子和微机电系统(MEMS)设计与制造工艺过程中,目前广泛采用了高深宽比的深沟槽结构。传统的测量方式很难甚至无法实现对深沟槽深度的测量,因此需要采用光学的方法对深沟...