深沟槽论文

微纳深沟槽结构光学反射特性与参数提取算法研究
论文摘要在微电子和微机电系统(MEMS)设计与制造工艺过程中,目前广泛采用了高深宽比的深沟槽结构,传统的测量方式无法实现对其深度的测量,因此需要采用光学的方法对深沟槽结构的尺寸...