深沟槽蚀刻论文

90纳米DRAM深沟槽模块蚀刻工艺改善
论文摘要DRAM（DynamicRandomAccessMemory）即动态随机存取记忆体,所有的DRAM核心记忆单元都是由一个晶体管和一个电容器组成亦即通称的1T1C结构。D...