深硅刻蚀论文

MEMS工艺优化及其应用
论文摘要MEMS是微机电系统的简称,是多种学科交叉融合的前沿高技术,是未来的主导产业之一,将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响。MEMS标准工艺的研究对...