深紫外激光论文

宽禁带材料的激光微加工及其机理研究
论文摘要宽禁带材料的研究及应用越来越受到人们的重视,像以氮化镓（GaN）为代表的第三代半导体材料、石英玻璃（SiO2）材料都是研究的热点领域。其中石英材料因其卓越的物理性能已成...