射频补偿论文

低温等离子体朗缪探针诊断电路研究
论文摘要摘低温等离子体已在材料、微电子、化工、机械及环保等众多学科领域中得到较广泛的应用。利用等离子体化学活性的薄膜沉积和刻蚀,是尖端电子器件制造中不可缺少的工艺。其中,等离子...