射频磁控反应溅射论文

纳米Si-SiNX复合薄膜发光与非线性光学性质的研究
论文摘要半导体硅基材料是电子技术、信息技术领域最为重要的基础材料之一。近年来,研究和开发以硅为基质材料的光子器件乃至实现光电集成（OEIC）已成为半导体光电子学领域需攻克的重大...
蓝宝石衬底上中波红外增透保护膜系的设计、制备及性能
论文摘要头罩是红外制导空-空导弹的重要部件，蓝宝石具有的一系列优异性能，决定了它是目前作为中波红外窗口／头罩的最佳材料。然而，限于目前的材料制备和加工技术水平，蓝宝石的红外透过...