射频磁控溅射薄膜论文

LaCr1-xTixO3复合氧化物的合成及其膜型气敏性
论文摘要随着科技的发展和人民生活水平的提高,人们对身体健康以及环境中有毒气体的检测越来越关注。半导体型气敏传感器是目前应用最广泛的传感器之一,其中,ABO3钙钛矿型复合氧化物因...