射频电场论文

平面线圈感应耦合等离子体中射频电场穿透及功率沉积的理论研究
论文摘要由于射频感应耦合放电可以在低气压下产生高密度的均匀等离子体,因此它在等离子体刻蚀和薄膜沉积等工艺中有着广泛地应用。本文针对平面线圈感应耦合等离子体（TCP）,采用动力学...