射频放电论文

高功率射频CO2激光器放电机理研究
论文摘要射频激励技术的应用使得高功率CO2激光器的综合性能得到很大的提高,主要表现在光束质量、工作稳定性等方面。深入了解射频放电机理对CO2激光的发展有重要的意义。本文主要从以...
射频电容耦合等离子体的流体动力学/Monte-Carlo混合模型数值模拟
论文摘要针对导体极板，本文以氩气为研究对象，建立了一个自洽的等离子体流体动力学模型，研究了射频电容耦合等离子体的输运特性。该物理模型包括电子和离子的连续性方程、电子的能量方程以...