射频反应性磁控溅射论文

硼碳氮薄膜的制备及性质研究
论文摘要采用射频磁控溅射和射频反应性磁控溅射两种方法制备了硼碳氮薄膜。利用X-射线光电子能谱、傅立叶变换红外光谱（FTIR）、拉曼光谱、X-射线衍射分析（XRD）、原子力显微镜...