射频耦合论文

管筒内壁自激射频放电等离子体浸没离子注入方法研究
论文摘要为了提高管筒状零部件的性能和使用寿命,人们常采用表面改性技术。离子注入做为一种有效的表面改性手段一直受到人们的重视,但对于细管筒内表面的处理均匀性无能为力。本文以管筒内...