射频气体放电论文

大功率射频CO2激光器激励特性研究
论文摘要射频激励大功率CO2激光器是目前国际上大功率激光切割或焊接应用的主力光源及重要发展方向。本文系统地理论分析及试验研究了大功率射频激励CO2激光器的激励电源、射频传输、射...