射频微机电系统论文

X波段RF-MEMS电调滤波器的研究
论文摘要随着宽带无线通信时代的到来,可调滤波器作为中心频率可以控制的选频器件,它的研究越来越受到人们的重视。近几年来,许多研究人员将RF-MEMS（射频微机电系统）器件引入到可...
RF MEMS微电感和微电容的制造技术及其特性研究
论文摘要随着无线通信系统向小型化、低电压、低功耗、多功能、高性能和更高频方向发展,现有的半导体工艺无法满足射频通信部件的高性能和小型化,导致现有的无线通信系统体积庞大、成本高、...
薄膜体声波谐振器（FBAR）技术的若干问题研究
论文摘要集成化、微型化是无线射频终端的发展趋势,薄膜体声波谐振器(FBAR)作为目前唯一有望集成的射频滤波器技术,正成为国内外研究的热点。与传统的介质滤波器和声表滤波器(SAW...