射频无极光源论文

高频诱导无极光源的发射光谱学诊断
论文摘要论文围绕两个主要问题开展研究:1.射频诱导低气压无极光源的等离子体放电模式特性;2.微波诱导金属卤化物分子的辐射机理。通过对这两种实用高频诱导无极光源等离子体进行发射光...