射线光刻论文

X射线显微成像纳米光学元件制作与应用研究
论文摘要X射线波长短、穿透深度大,不仅具有对厚样品进行纳米分辨成像的潜力,而且成像机制多样(如吸收、位相、荧光等),衬度来源丰富,因而可以观察分析多种微观物理、化学和纳米结构,...