射线衍论文

氧化物薄膜应力的X射线衍射表征与研究
论文摘要氧化物薄膜由于其丰富的物理性质可广泛地被用于微电子学,光电子学以及微电子机械系统等领域。信息时代的发展要求电子器件集成化,导致了传统的体材器件向薄膜化器件、分离器件向集...