湿法氧化论文
TSV技术中关键工艺基础研究
论文摘要集成电路随着线宽的减少,互连延迟超过门延迟,限制了集成度增加。基于硅通孔(TSV)的垂直铜互连不仅可以实现高密度集成,而且其短距离互连的优势可以降低互连延迟。TSV技术...铁基离子液体高温湿法氧化硫化氢脱硫工艺研究
论文摘要煤炭资源一方面是能源的主要提供者,另一方面也是主要的环境污染源。以煤气化为基础的多联产技术是目前煤炭高效清洁利用的主要途径,高温煤气净化主要包括除尘、脱微量有害物质(如...Zn/Fe体系湿法催化氧化高效脱除沼气中H2S回收硫磺研究
论文摘要随着我国新能源开发的展开,沼气作为一种新能源,其开发利用显得日益重要,尤其是在广泛的农村地区,进行沼气能源的开发,对生态保护具有不可替代的重要意义。但沼气中含有一定量的...