实时调焦控制器论文

高精度曲面光刻实时调焦技术的研究
论文摘要激光刻划技术是一项在民用和军事等方面都有很大应用价值的综合性前沿技术,其优势在于刻划的超高精度。但是,由于基面上涂胶的不均匀以及安装误差和机械相对运动等等影响因素的存在...