石英陀螺论文

微石英音叉陀螺正弦自激驱动电路设计
论文摘要石英音叉微机械陀螺是一种测量角速度的惯性器件,由石英音叉敏感结构和信号处理电路组成,电路采用集成电路工艺来实现,具有体积小,质量轻,成本低,可大批量生产,精度高等特点,...
微机械石英陀螺敏感元件的设计与制造研究
论文摘要MEMS是近年来比较热门的一个新兴的技术领域,具有广阔的发展前景。MEMS技术在惯性领域的发展应用催生了微惯性技术。微惯性技术的发展,主要集中在微机械加速度计和微机械陀...