石英微陀螺论文

石英微陀螺结构优化与制造工艺研究
论文摘要石英以其良好的压电特性、较高的温度稳定性和机械性能,使得石英微陀螺具有结构简单、稳定性好、可靠性高、易于驱动检测等优点,成为MEMS陀螺的研究热点。本文以一种新型石英微...