时域动态响应特性论文

微板多物理场耦合非线性动力学研究
论文摘要静电驱动是微机电产品中广泛使用的驱动方式,微板是MEMS产品设计中一种典型的结构元件。静电驱动MEMS器件在工作中存在静电场力与微构件机械振动之间的机电耦合及机电流体耦...