双靶反应共溅射论文

反应磁控溅射镀制（Ti，Nb）N硬质薄膜的研究
论文摘要本课题的目的是在剃须刀片刃口上镀制一层硬质薄膜,以提高刀片的锋利度和使用舒适性,并对所镀制的硬质薄膜工艺参数、性能进行研究。本文首先对硬质薄膜的发展作了概述,着重综述了...