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双靶直流共溅射法论文
双靶直流共溅射法论文
p型透明导电Cu-Al-O薄膜的制备与光电性能研究
论文摘要CuAlO2(CAO)p型透明导电薄膜是1997年Kawazoe等人基于价带化学修饰(CMVB)理论,首次制备出的铜铁矿结构p型直接带隙透明氧化物薄膜。它的成功开发为实...