双层辉光反应溅射论文

热氧化生成TiO2及氮掺杂TiO2薄膜的研究
论文摘要不同的制备技术和工艺条件会影响所生成的TiO2薄膜的成分结构，进而影响其使用性能。本文利用热氧化法和氮掺杂热氧化法在纯钛表面制备TiO2和氮掺杂TiO2薄膜，重点就工艺...