双电层效应论文

考虑双电层效应薄膜润滑的数值分析
论文摘要在薄膜润滑状态下,润滑剂有着独特的特点和规律。在靠近金属表面的区域,润滑剂的有效粘度异常高于体相粘度,宏观流体的特性明显改变。国内外研究证明:在固体和液体的界面处存在双...
微/纳结构牺牲层腐蚀及其模型研究
论文摘要牺牲层腐蚀技术是先在硅衬底上生长一层牺牲层,然后再淀积一层结构层,腐蚀掉牺牲层后,得到自由悬空结构单元的一种技术。它是MEMS技术中的关键技术之一,在MEMS器件加工中...