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微电子6寸晶圆接触孔刻蚀工艺开发
论文摘要本文主要论述了根据B公司6英寸双极产品遇到的P+链电阻参数异常情况,以理论为依据,通过一系列实验所得到的数据,提出针对接触孔刻蚀程序的开发和改进方案,最终取得了明显的成...
二维位置敏感探测器专用信号处理电路设计
论文摘要二维位置敏感探测器(2D-PSD)是一种对光点位置信息进行检测的器件,其输出的信号是与位置信息相关的电流信号,PSD输出信号处理电路一般由通用运算放大器构成的前置信号放...