双离子束溅射论文

碳基薄膜的制备及摩擦特性的研究
论文摘要本文首先采用双离子束溅射沉积系统（DIBSD）制备DLC、CNx和BCN薄膜,研究此系统的工艺条件对DLC、CNx和BCN薄膜的结构和性能的影响。对于制备DLC薄膜,采...