双路论文

基于白光干涉的金属极薄带测厚理论与系统研究
论文摘要机械精密细微加工和检测技术是国家中长期科技发展规划纲要和十一五规划中鼓励发展的先进制造技术。目前经过精密加工的1μm-100μm厚度的金属箔带的一个重要应用场合是在我国...