双面抛光机论文

DJP-9BC超精密双面抛光机结构设计和实验研究
论文摘要随着微电子技术和信息技术的飞速发展,对各种光电子元件表面加工精度的要求也越来越高,如何利用超精密抛光技术高效地获得光电子晶片超平滑无损伤表面已成为加工技术的一个热点研究...