双面抛光论文

石英晶体基片高效精密加工装备控制系统研制
论文摘要随着石英晶体元器件产业的快速发展,对石英晶片的加工质量、效率提出了更高要求。如何方便、高效地获得超平滑、无损伤的表面质量,是石英晶体基片超精密抛光加工技术的重要研究方向...
微通道板双面抛光工艺研究
论文摘要微通道板(MCP)是一种先进的电子倍增器,是微光像增强器的核心部件。双面抛光工艺是微通道板制造的重要工艺。本文利用高分辨率光学显微镜、扫描电子显微镜研究了微通道板表面的...