双频激光干涉仪论文

工件台激光干涉仪测量误差模型研究
论文摘要多自由度精密运动台是集成电路设备、精密加工机床等的关键部件,具有速度大、精度高的特性,其运动精度直接影响整机的性能,因此多自由度精密运动台的高速高精运动控制十分关键。实...
XK715F数控铣床技术改造研究
论文摘要本文以中航一集团五七零四厂的XK715F数控铣床的技术改造为例，从技术和经济两个方面阐述了改造的必要性及改造方法，阐述了旧设备改造的分析方法、设备改造的要求；通过对伺服...