双压电薄膜单元论文

基于双压电PZT薄膜单元的悬臂梁式微力传感器研究
论文摘要MEMS技术的发展为基于压电PZT薄膜和硅微加工技术的微传感器和微执行器研究带来了新的机遇。压电式微力传感器的低能耗、高灵敏度、易于与压电微执行器集成等优点使其具有良好...