双远心光路论文

基于线阵CCD的非接触微位移测量系统研究
论文摘要随着半导体光电器件CCD的快速发展,CCD技术被广泛地应用在测量领域,尤其是在微小位移方面的测量。微位移测量已经广泛地应用在工业领域,提高此类测量的精度可以提高生产效率...